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择优选择生长相关论文
ZrO2薄膜微观结构和光学性能的研究
无论是在300℃或室温下,用PVD方法淀积的ZrO_2薄膜,达到一定厚度后都出现晶相非均匀性,在基底侧为四方相,空气侧为单斜相.本文给出......
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