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基于接触共振原子力显微术的力学量测量及亚表面成像
纳米材料的发明、器件结构的微型化和微纳米加工工艺的发展,使高分辨率、精确而且便捷的测量方法成为必要。作为具有纳米分辨率的......
学位
原子力显微术
接触共振原子力显微术
谐波原子力显微术
力学量测量
亚表面成像
悬臂梁优化
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