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快速扫描光荧光技术相关论文

PL Mapping 技术检测大直径SI-GaAs晶片中缺陷分布

采用pl mapping技术,检测6英寸Si-gaaS晶片的均匀性,从而得到样品中的缺陷分布状况.本文主要通过光荧光谱获得样品表面和内部丰富......

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快速扫描光荧光技术 SI-GAAS 光谱分析缺陷分布 PL Mapping SI-GaAs spectral analysis defects distrib

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