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微阵列积分镜相关论文
提高MEMS侧壁陡度的一种新方法
随着微型机电系统(MEMS)的迅速发展,对生产MEMS的微细加工设备的需求也越来越大.本文重点介绍深度光刻机中的掩模和硅片间的菲涅耳......
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MEMS
深度光刻机
微阵列积分镜
侧壁陡度
微机械电子系统
菲涅尔衍射
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