微电子机械系统(MEMS)体硅工艺相关硕士博士期刊学术论文

采用微电子机械系统(MEMS)体硅三维异构集成技术,设计了一种应用于雷达的四通道瓦片式三维集成T/R模块.该模块由三层硅基封装堆叠......