微机械硅摆相关论文
微机械摆倾角传感器的内部敏感元件为"三明治"结构,当其随载体发生倾斜运动时,由于受到哥氏力效应的影响,中间层动极板以扭转梁为......
为了提高特种车辆遂行任务系统的效能,基于微机械硅摆效应,研究设计了一种微机械硅摆倾斜仪。微机械硅摆感应倾角变化,经信号调理......
