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微机械真空传感器相关论文
巨磁电阻材料及其在微机械真空传感器的应用探讨
本文介绍了新型高灵敏度磁敏感材料-巨磁电阻材料,指出巨磁电阻材料具有灵敏度高、制作工艺简单、尺寸小、抗辐照等优点,采用合适......
会议
巨磁电阻材料
微机械真空传感器
灵敏度高
制作工艺
敏感材料
工作原理
高灵敏度
磁敏器件
磁传感器
抗辐照
过渡层
应用
基础
尺寸
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