<正> 为了成功地应用微型技术,不仅需要能制成微型结构,还要求能对其操纵和监控。因此微型装配成为一个重要的课题,同样,微型结构......
EVG公司是一家生产用于加工领先微结构与晶圆的全球设备供应商。这些设备是生产高附加值的微器件所必需的。她的工艺解决方案是基......
本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状。传感器在集成化、系统化方面的研究取得了明显成果,基础研究了得到了加强。微机......
作为微机械电子系统(Micro-Electro-Mechanical-Systems,即MEMS)的一个重要组成部分,微驱动器是一个完整的微机电系统的动力源头。国......