微机械压力传感器相关论文
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为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的“H”型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振......
阐述了Fabry-Perot腔的工作原理以及在精细光谱结构研究、激光技术等领域的应用，结合工作的工作，给出了Fabry-Perot腔在微机械传感器......
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