微晶硅薄膜材料相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微晶硅薄膜材料相关论文

电极间距对微晶硅薄膜生长速率及其性能的影响

本文采用高压高功率的VHF-PECVD技术,通过改变电极间距同时调整硅烷浓度(SC)的方法沉积了一系列的微晶硅薄膜材料,测试其生长速率......

会议

微晶硅薄膜材料电极间距生长速率缺陷态硅烷浓度

基于SiF4/H2/Ar混合气体及电压波形调制技术的微晶硅薄膜材料的制备

对于p-i-n型微晶硅薄膜太阳能电池，在保证整体性能的前提下，提升各层的沉积速度特别是吸收层尤为重要。本文采用射频-等离子体增强化......

学位

太阳能电池微晶硅薄膜材料制备工艺混合气体电压波形调制技术

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