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微晶硅(μc-Si:H)相关论文
温度对高速微晶硅薄膜沉积速率及其特性的影响
采用超高频(VHF)结合高压(HP)的技术路线,在较高SiH4浓度(SC)下实现了微晶硅(μc-Si:H)薄膜的高速沉积,考察了衬底温度在化学气相沉积(CVD)过......
期刊
高速沉积
微晶硅(μc-Si:H)
超高频(VHF)
温度
high deposition rate microcrystalline silicon(μc-S
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