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基于声表面波微液滴并行加热研究
提出了一种并行加热微液滴的方法。在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器和反射栅,在其......
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声表面波
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并行加热
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