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微球球度测量机械系统研制
在纳米技术领域,微球常被用作测量系统的测头。随着加工精度的不断提高,精密器件特征尺寸趋于微型化,要求测量系统中应用的微球球......
学位
微球
球度测量
差动测量
微纳米三坐标测量机
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