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层状光栅干涉仪相关论文
新型压电微驱动器在光学微机电系统中的应用研究
随着MEMS(微机电系统)技术的高速发展,MEMS器件对驱动器材料的结构和性能有着越来越高的要求。MEMS压电驱动器由于体积小、速度快......
学位
微机电系统
压电驱动器
微变形镜
层状光栅干涉仪
PZT PMN-PT
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