射频辉光等离子体相关论文
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进行了应用等离子体在静止空气中诱导流场的实验研究.利用自行研制的等离子体发生器在1个大气压下产生了均匀、稳定、可控的射频辉......
采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜，研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素，包括：极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等......
