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多晶硅腐蚀相关论文
用于LDD和SST的SiO2边墙干法腐蚀工艺研究
本文从干法腐蚀角度出发,首先从数学上分析了多晶硅角度,SiO_2边墙的宽度和高度,衬底损失与各工艺参数间的关系,指出边墙的宽度和......
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