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圆形平面磁控靶相关论文
圆平面磁控溅射靶的磁场优化及刻蚀模拟
磁控溅射已经成为工业镀膜生产中最重要的技术之一,其中磁场分布在整个溅射过程中起着至关重要的作用,磁场强度的大小、分布决定了......
学位
磁控溅射
圆形平面磁控靶
磁场分布
靶材刻蚀
有限元模拟
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