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固态射频电源相关论文

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学位

固态射频电源氮化镓器件共源共栅 E类功率变换器宽禁带器件

全固态高效率射频电源

射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件,其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFE......

期刊

固态射频电源 E类阻抗匹配网络等离子体全反射

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