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等离子体苯胺聚合膜离子注入层的电阻率
等离子体苯胺聚合膜经100keV,5×1015Ar+/cm2或24keV,1×1016I+/cm2离子注入后,室温电阻率下降12个数量级。用范德堡(Van-der-Pauw)法在173K~303K温度范围内,测量了温度对注入层体电阻率的影响。实验......
期刊
等离子体聚合
离子注入
电阻率
范德堡法
可变自由程跳跃
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