可制造型设计相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

可制造型设计相关论文

基于光刻模型的动态自适应切分OPC

光学邻近校正（OPC）技术已经成为纳米级半导体工艺技术中的一个关键.目前在OPC中多边形的切分算法均基于配方（recipe）,但随着特征线宽减......

期刊

光学邻近校正可制造型设计动态切分光刻模型 OPC DFM Dissection lithography modeling

集成电路成品率的版图灵敏度模型研究

在深亚微米技术节点，成品率设计，尤其是版图设计阶段的成品率设计是解决可制造性问题和成品率问题的重要途径。为了减少由冗余物缺陷......

学位

成品率可制造型设计局部缺陷版图优化关键面积版图灵敏度

看过本文同时还关注