压阻元件相关论文
采用高强度合金膜片为初始敏感元件来承受被测压力,再利用硅油将压力传递到压阻敏感元件上,经硅油传递后的压力要比被测压力小很多,从......
对于广泛采用的压阻式微加速度计,在传统工艺下,提高量程和固有频率意味着增加梁厚,减小应力,而提高灵敏度又要求减小梁厚,这是相......