压电陶瓷传感器PZT相关论文
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
基于相移干涉术,研制了一台立式大视场Mirau相移显微干涉仪。显微干涉仪包括干涉成像和照明部分,竖直方向上的压电陶瓷微位移系统,......
论文全面描述了微表面形貌测量的各种方法,总结了干涉中的相位测量方法,分析了当前表面形貌测量的研究热点和方向。从白光相移显微......
