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半导体参数测试仪相关论文
微尺度半导体器件可靠性分析系统及NBTI效应表征技术研究
本论文内容主要分为两个部分:(1)新一代半导体器件参数的比例差值谱分析系统(BXT2931B)的研制;(2)90纳米工艺小尺寸器件NBTI在线表征......
学位
半导体参数测试仪
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