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化学研磨及机械抛光相关论文
基于超薄钽酸锂晶体材料高响应太赫兹探测器
太赫兹(Thz)探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄(10μm)钽酸锂(LiTaO3)晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料......
期刊
太赫兹探测器
钽酸锂晶片
化学研磨及机械抛光
电压响应率
噪声等效功率
THz detector Lithium tantalate(LiTaO3) wafer
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