分立活塞式相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

分立活塞式相关论文

MEMS微变形镜设计及其薄膜残余应力控制研究

基于MEMS技术的微变形镜以其体积小、成本及功耗低、驱动电压小、响应速度快、性能稳定等显著优点在自适应光学领域具有广阔的应用......

学位

自适应光学微机电系统表面加工分立活塞式微变形镜薄膜残余应力

分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计

利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上......

期刊

微变形镜分立活塞式系统级集成设计平台

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