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凸结构的形成-低载下单晶硅表面的划痕损伤研究
利用纳米划痕仪及曲率半径为3μm的球形金刚石针尖,在单晶硅(100)表面进行了不同载荷下的划痕试验.结果表明:随载荷的增加,单晶硅......
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