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傅里叶衍射理论相关论文
扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效......
期刊
超大数值孔径
相移掩模
离轴照明
阴影效应
傅里叶衍射理论
hyper NA
phase shift mask
oblique illumination
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