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一次离子束能量相关论文
二次离子质谱仪离子枪溅射速率的能量依赖关系
本文给出了MIQ-156型SIMS仪器中离子枪溅射速率和一次束能量及扫描档次的数学表达式,并且通过实验测量加以证实;同时还得到了一次束直径和束流强......
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二次离子质谱
溅射速率
一次离子束能量
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