本文设计了一种全自对准的槽栅IGBT(绝缘栅双极晶体管)结构,其工艺简单,全套工艺只有两张光刻版,是现有IGBT工艺中最少的,而且两次......

提出一种新颖的横向槽栅双极晶体管（ＬＴＧＢＴ）结构。此结构可明显改善器件的闩锁效应，通过数值模拟，比较耻ＬＴＧＢＴ结构与ＬＩＧＢＴ结构的闩锁电流密度大小，讨论了......