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离子束强化在镀氮化钛薄膜中的应用
系统地进行了离子束强化真空沉积镀、射频离子镀和离子束强化射频离子镀3种镀TiN薄膜的实验,并对不同方法制备的TiN薄膜进行了性能......
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离子束强化
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TIN薄膜
ionic beam intensification
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radio-frequenc
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