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p型砷化镓相关论文
退火参数对p型GaAs欧姆接触性能的影响
采用磁控溅射的方法在p型GaAs衬底上沉积了Ti/Pt/Au金属薄膜,研究了退火工艺参数(温度和时间)对p-GaAs/Ti/Pt/Au欧姆接触性能的影......
期刊
p型砷化镓
欧姆接触
磁控溅射
Ti/Pt/Au
退火
圆形传输线模型
比接触电阻率
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