利用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化，在ＰＣ、ＰＭＭＡ和ＰＯＭ塑料上获得了高深宽比的微结构，并对ＰＣ、ＰＭＭＡ和ＰＯＭ和......

DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成.其中微复......