【摘 要】
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DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成.其中微复制常采用模压工艺,而模压工艺具有许多参数,
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DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成.其中微复制常采用模压工艺,而模压工艺具有许多参数,为了确定主要影响因素和最佳工艺条件,首次用正交实验方法对模压工艺进行优化.用镍模具对聚碳酸酯(PC)进行模压,得到影响因素主次为:模压温度＞施加压力＞加力速度＞加力时间,优化参数为:模压温度180℃,压力3000 N,加压速度0.2 mm/min,力维持时间120 s.用得到的优化参数进行实验得到
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