The imagequality evaluation in fiber-optic image bundles was addressed by the modulation transfer function (MTF). With t......

用于微型光刻技术中的多数紫外线（UV）或深紫外线激光器，无论是基于气体的准分子或二极管泵浦固态（DPSS）激光器，其输出频谱均较宽。与此同......

利用光刻仿真软件PROLITH,进行了掩模版空间成像的焦深(DOF)和光学临近效应的仿真.理论上分析了照明光瞳相干因子定义法:10%能量法......