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泰曼—电视—微机系统非球面面形测试
本文用He-Ne激光器作光源,由泰曼-格林干涉仪,电视摄相机和微机组成泰曼-电视-微机系统,利用法线象差补偿法检测非球面的原理,根据三个干涉图法......
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非球面
干涉仪
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补偿
光学表面
面形测试
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compensation method
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