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研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试.采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明......
采用严格耦合波理论（RCWA）和多层近似法,详细的推导了任意面形介质光栅的衍射问题,得出了其矩阵求解方程,并采用增强透射矩阵法来避......
在聚合物掺杂液晶中使用正交线偏振光记录了特殊的一维光栅,这种光栅可以由探测光的偏振态控制衍射级的变化,当探测光为水平方向振......
依据一类与椭圆和矩形相关的几何形状孔径的数学模型及其傅里叶变换,得出了其夫琅禾费衍射光场分布的一维积分表达式及其衍射图样.......
采用一种特殊的间接边界积分方程法,求解了平面SV波在饱和半空间中任意形状沉积谷地周围的二维散射问题。结合饱和半空间中膨胀波......
利用波浪弥散关系的迭代计算求得波向与流向的夹角,并用有限元法求解含流的缓坡方程,得到在缓变地形和斜交定常流场共同影响下的大......
针对纯位相型计算全息图量化误差问题,提出了一种新的编码方法.其主要理论根据基于在复平面上可将一复矢量分解成任意两个复矢量之......
推导出了高阶贝塞耳光束通过有光阑近轴ABCD光学系统传输的解析公式，用以研究了高阶贝塞耳光束被光阑衍射位相奇点的演化特性．结果表......
透镜阵列光刻法用一个柱面阵列透镜代替常规光刻法中的柱面透镜形成光程差,将由衍射所引起的瞬变图形错开,消除由于光刻模板与被刻......
根据惯性约束聚变系统技术要求，提出了镀膜减反方案，以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题。使用严格耦合波理论分析......
经过理论推导，分析了320mm口径衍射光学元件在束匀滑实验中光强分布出现高级次衍射斑和元件实际衍射效率变低的原因，模拟计算得到了......
