以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数计）、Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜；对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ、ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析；并对不同载气下膜与基体的结合力、膜层残余应力、......

介绍了 ｃ－ＢＮ的优异特性及应用前景。评述了 ｃ－ＢＮ膜的几种低压物 理气相沉积（ＰＶＤ）和低压化学气相沉积（ＣＶＤ）制备方法，分析其成膜特点及对ｃ－ ＢＮ形成有显著影响......