X射线透射光栅相关论文
X射线光栅是X射线光谱仪中的核心色散元件，而X射线光谱仪是等离子体诊断和太空探测方面的重要工具。X射线的波长短、穿透能力强，要求......
高线密度X射线透射光栅是X射线光栅谱仪的核心色散元件，其制作工艺繁复冗长，制作难度大，是制约我国等离子体诊断和太空探测等领域发展......
针对X射线自支撑透射光栅在多能点单色成像光栅谱仪中的应用,采用电子束和光学匹配曝光、微电镀和高密度等离子体刻蚀技术,成功制......
为了制备高线密度X射线透射光栅掩模，分析了电子束光刻中场拼接对高线密度光栅图形的影响；利用几何校正技术和低灵敏度的950k的PMMA......
针对X射线自支撑透射光栅在多能点单色成像光栅谱仪中的应用，采用电子束和光学匹配曝光、微电镀和高密度等离子体刻蚀技术，成功制备......
利用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术，成功制作了面积为1mm×1mm，周期为300nm，金吸收体厚度为1um的用于X射线显微成像的透射光......
针对X射线透射光栅摄谱仪中的高线密度光栅,研究了采用电子束曝光和X射线曝光技术结合制作高线密度X射线透射光栅的工艺技术。首先......
X射线由于其短波长和极强的穿透能力自从被发现以来,逐渐受到全球不同领域科学家们的重视。现在X射线已经成为各领域科学研究中不......
