X光光刻相关论文
微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术，以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶，在PMMA基板上制造......
LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢......
为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上......
描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术，即X光光刻得到相应的亚微米级的线宽图形，再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长光栅．......
着重介绍了X光透镜的原理、制作方法及其在X光产业中的应用和发展前景....
据美国物理学家组织网报道，英国伦敦大学纳米技术中心和意大利罗马第一大学物理学家联合开发出一种X光光刻电路技术，用X光照射直接将......
