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Ti2AlN薄膜兼具金属和陶瓷的性能优势,真空退火Ti/AlN多层膜制备Ti2AlN薄膜的方法是实现其工业化应用的手段之一。Ti2AlN的晶体结......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
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