Sn等离子体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

Sn等离子体相关论文

基于光谱和质谱的纳秒激光烧蚀锡等离子体物种诊断研究

波长在13.5nm的极紫外光刻技术作为传统光刻技术的延续,已被认为是下一代最先进的光刻技术之一。激光产生等离子体(LPP)方法在产生......

学位

激光烧蚀等离子体飞行时间质谱发射光谱 Sn等离子体多电荷态离子瞬态等离子体鞘层极紫外光刻

激光辅助放电Sn等离子体13.5nm极紫外辐射研究

极紫外(EUV)光刻技术被认为是最有前途的下一代光刻技术候选人，极紫外光刻光源是极紫外光刻技术的核心。在目前主流的产生极紫外辐......

学位

激光辅助放电 Sn等离子体等离子体诊断极紫外辐射

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