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SiO_xC_yH_z相关论文
大气压DBD等离子体沉积SiO_xC_yH_z结构薄膜及其光学性能研究
大气压介质阻挡放电等离子体具有大规模工业应用前景。高效地利用等离子体实现材料表面改性和功能结构构筑是本领域研究的重要课题......
学位
大气压介质阻挡放电
等离子体
活化作用
颗粒膜
平整膜
褶皱膜
光栅
SiO_xC_yH_z
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