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Si-GDP薄膜相关论文
T2B/H2电感耦合等离子体的空间分布对GDP薄膜性能的影响规律研究
辉光放电聚合物(Glow Discharge Polymer,GDP)是一种非晶碳氢材料,具有诸多优点,是惯性约束聚变(Inertial Confinement Fusion,ICF......
学位
GDP薄膜
等离子体参数
空间分布
薄膜性能
Si-GDP薄膜
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