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Si-C-F反应层相关论文
分子动力学模拟入射角度对F离子与β-SiC表面相互作用的影响
本文采用分子动力学方法模拟了不同入射角度对F离子与SiC表面相互作用的影响,模拟选择的入射能量为10 eV,入射角度分别为15?、30?......
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分子动力学
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Si-C-F反应层
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