SU-8光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

SU-8光刻相关论文

基于纳米管的微纳流控芯片研究

微纳流控芯片（Micro-nano fluidic chip）通过将一些功能部件集成在一块硬币大小的芯片上,形成控制流体贯穿整个系统的微纳米通道网络......

学位

微纳流控芯片氮化硼纳米管碳纳米管 SU-8光刻离子输运

UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关

微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及......

期刊

UV-LIGA SU-8光刻加速度触发开关牺牲层技术 UV-LIGA SU-8 lithography acceleration triggering sw

一种基于氮化硼纳米管的微纳流控芯片

由于纳米尺度流道加工过程中存在工艺复杂、效率低等缺点,限制了微纳流控芯片在纳米尺度下流体特性研究领域的应用。针对此问题,提......

期刊

氮化硼纳米管微纳流控芯片 SU-8光刻 PDMS键合离子输运

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