RIE刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

RIE刻蚀相关论文

基于悬空结构的太赫兹探测器工艺研究

太赫兹技术作为最为瞩目的前沿技术之一,在国防、航天、医学、通信、食品、环境等领域具有广阔的应用前景。作为太赫兹系统的核心......

学位

太赫兹探测器微测辐射热计 MEMS工艺 RIE刻蚀超结构阵列

基于纳米压印的可调谐布拉格光栅研究

现代社会的飞速发展需要对日益增加的各种信息进行及时的传输和处理Bragg光栅具有选频、衍射、和反射等功能,制成的相应光子集成器......

学位

热光调谐聚合物波导 Bragg光栅纳米压印 RIE刻蚀

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