在物理模型的基础上，对ＴＦＳＯＩ ＲＥＳＵＲＦ器件的电势和电场分布进行了解析分析，系统研究了漂移区掺杂浓度，漂移区长度，埋层ＳｉＯ２厚度和ＳＯＩ层厚度等结构参数同电......