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超高阈值Pick-off反射镜的研制
采用水中抛光技术抛制了 90 mm× 60 mm× 1 0 mm的 K9玻璃基片 ,表面粗糙度达 1 nm。在 APS1 50 4镀膜机上 ,摸索了电子束蒸发镀......
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反射波前
pick-off反射镜
电子束蒸发
水中抛光
玻璃基片
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