NbTiN薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

NbTiN薄膜相关论文

共溅射生长硅基NbTiN超导超薄薄膜的研究

硅基超导单光子(SSPD)和热电子测热(HET)器件等近年来受到广泛关注，制备高质量硅基NbTiN 超导超薄薄膜(～5nm)对于此类应用具有重要的......

会议

NbTiN薄膜共溅射技术 PSG过渡层超导电性

共溅射生长NbTiN超导超薄薄膜

本论文研究硅基超导氮化钛铌(NbTiN)薄膜的制备技术。针对NbTiN与硅基片晶格失配度较高导致超导性能的下降的难题,主要开展两方面......

学位

PSG/Si基片 NbN薄膜 NbTiN薄膜磁控共溅射超导特性

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