Mo-Si薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本论文采用非平衡磁控溅射离子镀技术，分别在硅单晶与聚酰亚胺树脂表面制备了Mo、Mo(Si)和MoSi2薄膜。讨论了Si含量对Mo(Si)薄膜微......